光刻機的原理很簡單，相當於一個高精度的照相機，把設計好的電路投影到矽片上，但是，具體造出來，就很難了。

    國內的起步並不晚，在66年，109廠與華亭光學儀器廠協作，研製成功我國第一台65型接觸式光刻機，由華亭無線電專用設備廠進行生產並向全國推廣。1978年，中科院半導體所開始研製JK-1型半自動接近式光刻機。

    在六五期間，45所進行了BG-101型DSW光刻機的研究工作，並於1985年成功研製出BG-101分步光刻機，在當年年底通過了部級技術鑑定，該機的主要性能指標接近或達到美國GCA公司4800DSW系統的水平。

    但是，由於這方面要投入大筆的資金，國內正在搞經濟建設，所以，在光刻機的研發方面就放棄了，國內原本和國外只有五到十年的差距，結果到了後世，差距擴大到了二十年以上。

    說起光刻機巨頭來，就得提到阿斯麥，這個代號為ASML的光刻機公司，屬於全球最先進的，每年生產出來的光刻機供不應求，台積電和三星這些公司為了這些光刻機打破了頭，中芯國際更是等了數年也沒有拿到貨。

    但是實際上，在現在這個時期，阿斯麥還是一個小公司，擠在菲利普總部旁邊的板房裏辦公，要多慘有多慘，所以，現在起步的話，還不算晚！

    要說這個時代的巨頭，那就是大名鼎鼎的尼康了。

    原因很簡單，因為光刻機的本質就是個投影機和照相機，用光來作為刀子，把設計好的電路投射到矽片上，尼康原本就是製造照相機的，屬於專業對口，這個年代的尼康，就和後世的阿斯麥一樣，手頭握着大批的訂單，其他工廠的採購人員，天天堵在尼康的大門口等着交貨。

    不過，九十年代最大的光刻機巨頭尼康，衰落也是很快的，這其中有政治上的糾紛，也有技術路線的選擇錯誤。

    在晶片領域裏，有一個着名的摩爾定律，晶片的性能每隔18到24個月就得翻一倍，這樣，晶片的製造技術也得不斷地前進才行。

    在現在這個時代，其實光刻機的技術還不是很難，畢竟阿斯麥的起家的時候，不過只有三十幾個人的團隊，甚至就連英特爾等不及尼康的光刻機，自己也可以做幾台應急，不過就是把大批的零件買回來，拼拼湊湊，造個特殊的照相機。

    尼康的牛逼之處，就是人家是產業鏈集合，所有的零件都能自己搞定。

    但是，在進入九十年代，光刻機的生產商碰到了一個技術關卡：光刻機使用的光源是193納米的，它就限制了光刻機的繼續升級！

    想要凋刻東西越精細，刀子就得越鋒利，193納米的激光已經不夠細了，接下來該怎麼辦呢？

    尼康作為科技巨頭，想的辦法也很簡單，直接換用157納米的F2激光，這樣就能解決問題了。

    而為了對抗尼康成立的EUV LLC聯盟則押注更激進的極紫外技術，將光源切換成十幾納米的極紫外光，這樣不僅僅能解決現有的問題，還能一直用到以後，刻十納米以下的晶片製程都沒問題。

    但是，這兩種技術都不容易，都面臨着技術難關，這就是九十年代最出名的193納米關卡！

    凡是遇到難關的時候，總是有天才出現的，現在也不例外，一個名叫林本堅的鬼才工程師出現了。

    當光線透過水之後，頻率不變，但是波長會發生變化，這就是水的折射率，所以，只要在光刻機的光源和矽片之間加一層水，讓原本的193納米的激光發生一次折射，不就能大大地降低了嗎？

    簡單計算就能知道，波長會降低到132納米！

    這樣，不僅僅能降低了光刻機的波長，刻蝕更加精密的電路，而且，對機器的改動還最小！

    以前的就叫做干刻法，現在可以叫做濕刻法了！

    林本堅提出來了這項技術，興致勃勃地跑出去推銷，但是，全部都吃了閉門羹！

    美國、德國、日本，一個個的光刻機巨頭，面對着這個說法都是嗤之以鼻：在精密的機器中加入水，成為一個浸潤環境，就不怕水漏了嗎？短期來看，這個辦法可能會成功，但是長期來看，根本就是在走彎路！

    尤其是巨頭尼康，決定在157納米的光源上研究，根本就不搭理林本堅這種歪門邪道。

    就像是數碼相機一樣，當年柯達首先研製出來數碼相機，但是害怕因此威脅到膠片的生意，所以他們採用的辦法就是將數碼相機藏起來，不讓別人知道！

    尼康在157納米的道路上走到黑，而此時名不經傳的阿斯麥卻注意到了這個彎道超車的機會，對他們來說，這是一個迅速追趕世界先進水平的機會！

    所以，他們接受了林本堅的技術，研發起來了浸潤式光刻機，不過，這已經是03年的事情了，僅僅一年的時間，也就是04年，他們就製造出來了樣機，然後迅速拿下了IBM和台積電等等大客戶的訂單。

    尼康僅僅晚了不到一年的時間，把自己的是157納米激光的乾式光刻機技術弄成功了，但是，客戶卻不要了！一代巨頭尼康就這樣衰落了，而阿斯麥從此成為了光刻機行業的老大。

    這段歷史，對於秦濤這個造船工程師，也是有所耳聞的，所以現在，他如果想要彎道超車的話，那當然就是選擇對技術路線了！

    只有三十多人的阿斯麥都能做到，擁有雄厚財力的明州集團，難道還做不到這種事情嗎？

    什麼技術封鎖，狗屁！到以後，明州集團的光刻機會成為阿斯麥一樣的存在，全世界的巨頭都得上趕着過來求購！

    第二天。

    清華大學，精密儀器系會議室。

    「秦總，我們就知道，你們明州集團既然已經涉足了晶片領域，那就總有一天，會需要我們自己生產的加工設備的。」年過半百的負責人徐端義興奮地說道：「接到了您的消息之後，我們激動得一晚上都沒有睡着。」

    國內搞光刻機也是