七月初，海灣科技再一次給徐申學報喜，說是已經研發出來了DUV乾式光刻機的樣機，正準備進行第一次開機測試。

    得到這個消息後，徐申學推掉了其他的行程，當天就去了海灣科技。

    抵達海灣科技後，王道林一臉喜色的帶着徐申學參觀了他們最新的研發成果：一台完全自研的DUV乾式光刻機。

    「從光源系統到物鏡，再到機台等所有的子系統整合以及部分關鍵零部件，都是由仙女山控股旗下或柳河投資，智雲科技旗下的兄弟公司所提供，此外這些子系統的背後所需要的眾多零部件，除了我們自家的兄弟公司外，還有其他超過一千多家國內企業供應。」

    「參與這個項目研發的企業數量，直接或間接達到了接近兩千家，各類研究所一百多家，還有十多所著名高校也都參與了進來！」

    王道林說着的時候，激動中更帶着感嘆：「這可是真正的舉國之力才能搞出來的頂級設備啊！」

    「我們硬是靠着一家之力，做到了整個歐美日韓整個西方體系整合起來才能做到的事情，這難度，比單純研發一個光刻機更難。」

    「如果是依託全球產業鏈，搞這東西雖然技術難度很高，但是我們要做的也只是系統整合工作而已，難度雖然有，但是不至於有什麼代差，給我們ASML的零部件供應商，我都敢放話，最多一年時間就能夠弄出來DUV浸潤式光刻機甚至進軍EUV光刻機！」

    「但是我們沒有這些全球範圍的供應商啊，所以很多東西都只能自己在國內找，實在找不到就只能自己從頭研發！」

    「DUV光刻機的全部國產化，其難度大的驚人！」

    「很多東西都要從原材料開始研發！」

    王道林說着的時候，一旁的南江科技的研發部門負責人曹星辰也是接上了話頭：「不錯！」

    「我們公司是搞物鏡，為了這個DUV光刻機的物鏡，我們是從材料到加工工藝，全都是重新搞的！」

    「我們南江科技主導，還拉着一大票研究所，合作企業，同時展開了數十個新材料研究項目，挨個測試各種材料並對材料進行針對性的改進。」

    「最終花了兩年多時間，這才弄出來了堪用的材料！」

    「但是弄出來材料還不行，然後還得加工啊！」

    「這加工更難！」

    曹星辰說的時候，也是回想起來了之前的研發困境，不由得感嘆：「光刻機所需要的鏡片精度是非常高的，通常需要達到波長的五十分之一，比如我們這DUV乾式光刻機的光源波長是193納米，五十分之一就是三點八六納米！」

    「這種精度的加工，幾乎超過普通人的想像！」

    「而我們南光之前在生產I-line光刻機鏡片以及KRF光源鏡片的時候，採用的是國內現有的一些技術，比如小磨頭拋光、磁流變拋光等技術。」

    「原有的這些技術用來加工DUV光刻機所需要的鏡片還不夠！」

    「而且想要在原來的技術路線想要獲得更大的突破，達到蔡司，尼康等廠家的水準難度非常大。」

    「為了解決這一問題，我們的研發團隊一邊現有技術進行研發，一邊開發新技術，其中的一項新技術得到了迅速發展，這就是離子束拋光技術。」

    說到這個離子束拋光技術的時候，曹星辰整個人都變的激動了起來：

    「這項技術雖然也很難研發，為此耗費了我們大量的人力物力，但是真正做出來後效果那是真的好啊！」

    「利用該技術我們可以輕易的加工出來滿足DUV乾式光刻機需求的鏡片，甚至後續工藝繼續改進後，搞出來DUV浸潤式光刻機的鏡片也是問題不大！」

    DUV乾式光光刻機和浸潤式光刻機，雖然使用的光源都是ARF光源，但是浸潤式光刻機的光源經過超純水的折射後，波長卻是演變為134納米。

    因為兩者雖然光源系統看似一樣，但是對物