重生之北國科技 第460章 五步光刻法

更新:06-06 09:50 作者:冰城之光 分類:都市小說

    測試廣告1    1992年3月

    新華社全文播發「為改革開放保駕護航」

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    全彩會議室

    今天開會來的人特別全,因為公司到了一個新的節點。筆下樂  www.bixiale.com

    在會議桌中央,擺放着幾塊10.4寸的tft-lcd樣品。這幾塊樣品,是用產線設備跑出來的。lcd生產線,終於徹底跑通了一次。

    當然了,這個跑通,不等於馬上就能投產。因為還有產品質量問題,良率問題。但剩下的事情相對就好辦了,大家慢慢磨時間吧。

    「樣品給駱師姐送去了嗎?」

    「送去了,她們的電路板已經準備得差不多了,估計過兩天,成品就會送回來。」

    會議室的眾人,都對第一塊可以顯示圖案的lcd成品,期盼着。

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    會議的重點,永遠都是良率問題。

    odf工序,被引入以後,按理說tft-lcd的良率,不應該有什麼問題了。剩下的都是很普通的半導體加工工序。

    光電雖然沒有晶圓的生產經驗,但led的生產經驗不算少了。但實際情況,並非如此,lcd的尺寸,實在是太大了。

    「小成,你那邊的五次光刻技術,是否成熟了?」

    王青山是產線調試的技術負責人,從現在開始,產率,良率的問題,主要就是他的事情了。

    「怎麼了?」

    「產品的良率不足,也跟現在tft的加工工序次數過多有關係。」

    tft的加工工藝,與晶圓沒有原理上的本質區別。每一次光刻,成膜,清洗,塗光阻膠,曝光,顯影,烘乾,蝕刻,去光阻膠,檢查,都要走一遍。

    目前的tft加工工藝,採用的是七次光刻的工藝。也就是基板需要通過七次光刻,才能完成加工。

    而在晶圓晶片的加工過程中,幾十次的光刻,是最少的了。這也是為什麼晶圓廠的成品率很難提高的緣故。步驟越多,總成品率就越低。

    「小成,如果你有好的技術,就趕緊拿出來吧。」


    白學成也在一邊加入了戰團,進行勸說。

    「好吧。」

    成永興猶豫了一下,但還是妥協了。這個技術,他是準備保留到下一代的。在歷史上,五步光刻法,要過幾年才會出現。

    會議很快就轉向了其它議題。

    例如國產原料的送檢等。但這些不影響主要進度。

    有,不錯,沒有,也不怎麼值得大家關心。

    從全彩員工的角度看,這些都是供應商,用誰的不是用?用國產原料,反而是給大家添麻煩。

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    會後,白學成和成永興,王青山三個人到小會議室閒坐。

    隨着產線的全線調通,大家的心情,也就慢慢放鬆了下來。

    劉民學最後還是接任了《光電設備》的總經理,但他不怎麼來冰城,所以他的那個總經理,只是個掛名。

    好在幾家下屬設備廠,完全可以獨立工作,有沒有這個上級單位,也沒有太大關係。

    冰城的光電設備本部,又重建了一套獨立的管理班子,周強等一批人,從其他兄弟單位調動了過來。

    「我們的顯示基地計劃,一直還沒有批下來。」

    「這個我知道。」

    「你怎麼一點都不急呢?」

    白學成對成永興的態度,感到有點奇怪。

    「急有用嗎?」

    「呵呵,是啊!」

    急是沒有用。不過這個事情在成永興身上,白學成還是覺察出一絲不尋常。

    這個年輕人,在很多事情上,急躁得很。例如產線的全線調通。但有些事情,又鎮靜的令人奇怪。

    「不過,有個朋友托人給我們帶話,他希望我們可以把正式線,設到申城。如果可以,他會幫助我們推動項目的審批工作。」

    隨着時間的流逝,光電的第二間廠房,也進入了驗收階段。

    幾乎所有人都認為,這間廠房是為了



  
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